1993年 應(yīng)用技術(shù)
本儀器主要用于高科技項(xiàng)目MOCVD工藝裝置中AsH_3/PH_3等氣體氫化物的監(jiān)測(cè)報(bào)警。它采用火焰光度原理進(jìn)行工作，檢測(cè)濃度為砷烷≤0.05ppm，磷烷≤0.3ppm，響應(yīng)時(shí)間＜30s，零點(diǎn)漂移不大于滿量程的±1%，重現(xiàn)性誤差不大于1.2%。
該儀器與常規(guī)的色譜火焰檢測(cè)器相比，采用獨(dú)特的進(jìn)氣方式，即樣品氣和空氣按一定比例均勻混合后，從檢測(cè)器空氣側(cè)導(dǎo)入燃燒室噴嘴，H_2和... 
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