1995年 應(yīng)用技術(shù)
微電子技術(shù)及超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，對氣體質(zhì)量提出了極高的要求。超純氣體在壓縮、安裝、輸送等過程中受到各種污染，純度呈數(shù)量級下降，光明所等單位研制的氮（氬、氦）氣終端純化器可以解決這一問題。該純化器采用轉(zhuǎn)化－催化－吸附先進(jìn)工藝、流程及設(shè)計(jì)，應(yīng)用了國內(nèi)外首創(chuàng)的“OC－2”催化劑、“75－01”催化劑以及高精密配管施工技術(shù)，管路內(nèi)表面特殊處理，保證了純化氣的超純度；應(yīng)用了計(jì)算機(jī)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)溫度、時間...
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