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AlGaN基藍寶石襯底的紫外LED器件的制作方法

成果概況

成果類別：	應用技術(shù)	體現(xiàn)形式：	新技術(shù)	課題來源：	自選課題
起止時間：	2007.01 至2008.01	研究形式：	獨立研究	所處階段：	初期階段
成果屬性：	原始性創(chuàng)新

成果簡介

本發(fā)明公開了一種AlGaN基藍寶石襯底的紫外LED器件及制作方法，它涉及到微電子技術(shù)領(lǐng)域，主要解決出射光效率低的問題。該器件自下而上依次包括低溫AlN成核層、高溫AlN成核層、本征AlGaN外延層、n-AlGaN勢壘層、有源區(qū)、p-AlGaN勢壘層、低Al組分p型AlGaN層、p型GaN冒層，以及在p型GaN冒層設(shè)有的窗口區(qū)。該器件通過干法刻蝕p-GaN冒層至低Al組分的p-AlGaN，形成了圓柱狀的出射光窗口，其后對其進行光輔助濕法刻蝕，將柱狀出射光窗口變?yōu)轭惏肭驙畲翱?，在增大了窗口的出射孔徑的同時，又能使窗口區(qū)的材料表面得到了粗化，極大的提高了出射光的功率和效率。本發(fā)明工藝簡單，重復性好，可靠性高，可用于水處理，醫(yī)療、生物醫(yī)學場合以及白光照明中

應用前景

主要應用行業(yè)：	制造業(yè)	知識產(chǎn)權(quán)形式：	專利
應用狀態(tài)：	產(chǎn)業(yè)化應用	擬轉(zhuǎn)化方式：