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　　項目涉及電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳的生產(chǎn)技術(shù)，屬于精細(xì)化學(xué)品領(lǐng)域。
　　含氟電子特種氣體作為新型信息用氣體材料，是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、薄膜太陽能電池、光纖產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐原材料，同時也是特高壓交流輸變電成套裝備技術(shù)、特高壓直流輸變電成套、智能電網(wǎng)輸配電成套裝備技術(shù)等電器電工技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域良好的絕緣保護氣體。
　　項目實施過程中，主要開展了如下工藝技術(shù)研究：
　　1、開展了三氟化氮、六氟化硫、四氟化碳等反應(yīng)過程的工程放大技術(shù)研究。解決放大過程溫度、電解電流、原料配比等參數(shù)對反應(yīng)速率、產(chǎn)物收率、粗產(chǎn)品濃度含量的影響，確定電槽、反應(yīng)器最佳結(jié)構(gòu)形式和主要性能參數(shù)。
　　2、開展了多級純化凈化單元的系統(tǒng)集成技術(shù)研究。解決工程放大對各單元脫除有害雜質(zhì)的提純凈化深度的影響，優(yōu)化各純化單元配置和全過程控制參數(shù)。
　　3、開展了電子氣體痕量雜質(zhì)的定性定量分析檢驗方法研究。解決了目標(biāo)氣體在線和產(chǎn)品分析檢測方法和關(guān)鍵技術(shù)，提出各種雜質(zhì)成分在線和產(chǎn)品檢測的具體方案，完成分析系統(tǒng)的配備。
　　4、開展了三廢處理及回收技術(shù)研究。對生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氟廢氣、廢水和廢渣進行深入研究，確定環(huán)保、經(jīng)濟的三廢處理和回收再利用工藝。采用綜合利用技術(shù)，對互為雜質(zhì)的氟化物進行優(yōu)化利用，既可達(dá)到對三廢的綠色環(huán)保排放，又可以實現(xiàn)回收再利用。
　　本項目實施過程中，共申報國家專利8項，已獲授權(quán)4項。
　　本項目在完成電化學(xué)合成技術(shù)、深度純化和凈化技術(shù)、分析檢測技術(shù)、安全及環(huán)境保護技術(shù)研究的基礎(chǔ)上，完善和建立了3條特種含氟電子氣體生產(chǎn)線。技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國外同類產(chǎn)品同期先進水平，形成400噸/年電子級三氟化氮（99.99％）、800噸/年電子級六氟化硫（99.999％）、200噸/年四氟化碳（99.999%）的生產(chǎn)能力。2011年下半年銷售產(chǎn)品650余噸，銷售額達(dá)到7000萬，利潤2000萬，其中出口482噸，創(chuàng)匯453萬美元。預(yù)計項目產(chǎn)業(yè)化全面實施后可實現(xiàn)年產(chǎn)值1.8億元，利潤6500萬元，利稅4000萬元。其中高純度的電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳作為在未來幾年內(nèi)薄膜太陽能行業(yè)、液晶顯示屏及高壓設(shè)備等相關(guān)行業(yè)中使用的主流清洗、蝕刻和絕緣氣體，需求將會出現(xiàn)大幅上升趨勢。
　　項目的實施，完善了黎明化工研究院特種含氟電子氣體的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，使之成為國內(nèi)外知名的可同時開展多品種特種含氟電子氣體生產(chǎn)的廠家，提高了國內(nèi)該領(lǐng)域的技術(shù)水平，增加了行業(yè)競爭力。目前生產(chǎn)的電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳產(chǎn)品滿足了國內(nèi)客戶的需求，占據(jù)了國內(nèi)30%左右市場份額，此外純度和各項指標(biāo)已經(jīng)達(dá)到國際先進水平，取得了國際上知名氣體公司和使用客戶的認(rèn)可，并抓住了有利時機，創(chuàng)建了國內(nèi)特種含氟氣體的自主品牌，躋身國際級氣體供應(yīng)商行列。
　　

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