項目涉及電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳的生產(chǎn)技術,屬于精細化學品領域。
含氟電子特種氣體作為新型信息用氣體材料,是光電子、微電子等領域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、薄膜太陽能電池、光纖產(chǎn)業(yè)、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐原材料,同時也是特高壓交流輸變電成套裝備技術、特高壓直流輸變電成套、智能電網(wǎng)輸配電成套裝備技術等電器電工技術研發(fā)領域良好的絕緣保護氣體。
項目實施過程中,主要開展了如下工藝技術研究:
1、開展了三氟化氮、六氟化硫、四氟化碳等反應過程的工程放大技術研究。解決放大過程溫度、電解電流、原料配比等參數(shù)對反應速率、產(chǎn)物收率、粗產(chǎn)品濃度含量的影響,確定電槽、反應器最佳結構形式和主要性能參數(shù)。
2、開展了多級純化凈化單元的系統(tǒng)集成技術研究。解決工程放大對各單元脫除有害雜質的提純凈化深度的影響,優(yōu)化各純化單元配置和全過程控制參數(shù)。
3、開展了電子氣體痕量雜質的定性定量分析檢驗方法研究。解決了目標氣體在線和產(chǎn)品分析檢測方法和關鍵技術,提出各種雜質成分在線和產(chǎn)品檢測的具體方案,完成分析系統(tǒng)的配備。
4、開展了三廢處理及回收技術研究。對生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氟廢氣、廢水和廢渣進行深入研究,確定環(huán)保、經(jīng)濟的三廢處理和回收再利用工藝。采用綜合利用技術,對互為雜質的氟化物進行優(yōu)化利用,既可達到對三廢的綠色環(huán)保排放,又可以實現(xiàn)回收再利用。
本項目實施過程中,共申報國家專利8項,已獲授權4項。
本項目在完成電化學合成技術、深度純化和凈化技術、分析檢測技術、安全及環(huán)境保護技術研究的基礎上,完善和建立了3條特種含氟電子氣體生產(chǎn)線。技術指標達到國外同類產(chǎn)品同期先進水平,形成400噸/年電子級三氟化氮(99.99%)、800噸/年電子級六氟化硫(99.999%)、200噸/年四氟化碳(99.999%)的生產(chǎn)能力。2011年下半年銷售產(chǎn)品650余噸,銷售額達到7000萬,利潤2000萬,其中出口482噸,創(chuàng)匯453萬美元。預計項目產(chǎn)業(yè)化全面實施后可實現(xiàn)年產(chǎn)值1.8億元,利潤6500萬元,利稅4000萬元。其中高純度的電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳作為在未來幾年內(nèi)薄膜太陽能行業(yè)、液晶顯示屏及高壓設備等相關行業(yè)中使用的主流清洗、蝕刻和絕緣氣體,需求將會出現(xiàn)大幅上升趨勢。
項目的實施,完善了黎明化工研究院特種含氟電子氣體的產(chǎn)品結構,使之成為國內(nèi)外知名的可同時開展多品種特種含氟電子氣體生產(chǎn)的廠家,提高了國內(nèi)該領域的技術水平,增加了行業(yè)競爭力。目前生產(chǎn)的電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳產(chǎn)品滿足了國內(nèi)客戶的需求,占據(jù)了國內(nèi)30%左右市場份額,此外純度和各項指標已經(jīng)達到國際先進水平,取得了國際上知名氣體公司和使用客戶的認可,并抓住了有利時機,創(chuàng)建了國內(nèi)特種含氟氣體的自主品牌,躋身國際級氣體供應商行列。
牛學坤、張景利、黃曉磊、趙繼崢、汪建春、張金彪、魏磊、王娟、趙國輝、徐洪濤
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單位名稱: |
黎明化工研究設計院有限責任公司 |
聯(lián)系人: |
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單位地址: |
河南省洛陽市西工區(qū)王城大道69號 |
聯(lián)系電話: |
0379-62302842 |
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郵箱: |
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