研究起止時(shí)間：

2015.01至2017.12

成果評價(jià)單位：

河南省科技廳

成果推薦單位：

中國昊華化工（集團(tuán)）總公司

成果簡要說明：

三氟化氮作為優(yōu)良的等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔的清洗劑，在半導(dǎo)體芯片、液晶顯示器、光纖領(lǐng)域的需求量保持快速增長的趨勢。為提高黎明院三氟化貧產(chǎn)品的競爭力，解決目前存在生規(guī)模小、產(chǎn)品穩(wěn)定性不足、工藝連續(xù)性有待提高的問題，我院開展電子級三氟化氮產(chǎn)業(yè)化發(fā)項(xiàng)目，主要研究內(nèi)容：化學(xué)合成工藝優(yōu)化、電子氣體深度純化和凈化技術(shù)、分析檢測技術(shù)、安全及環(huán)境技術(shù)。

項(xiàng)目通過關(guān)鍵研發(fā)，在槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、電解合成低氟化物有效控制、低溫精餾、鋼瓶處理與潔凈灌裝技術(shù)、三廢處理等方面實(shí)現(xiàn)技術(shù)革新，按期順利完成1000a/t年三氟化氮裝置產(chǎn)業(yè)化建設(shè)和100a/t三氟化氮中試科研裝置建設(shè)。

研究所處階段：

成熟應(yīng)用階段

成果轉(zhuǎn)讓范圍：

成果評價(jià)方式：

驗(yàn)收

成果完成人：

牛學(xué)坤，張景利，魏磊，汪建春，楊亞琴，李梅，趙紀(jì)崢，黃曉磊，王娟，高英武，張緒銳，周憲峰，酒坤，付夢月，王亞平

聯(lián)系方式

名稱：

黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司

地址：

河南省洛陽市王城大道69號(hào)黎明化工研究設(shè)計(jì)院

郵編：

471000

電話：

0379-62301577