①課題來源與背景;
項目來源于精密加工和超精密加工領(lǐng)域,被黑龍江省教育廳立項,獲得黑龍江省普通高等學(xué)校骨干教師創(chuàng)新能力資助計劃資助。
高精度和高分辨率的精密微位移系統(tǒng)在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極其重要的地位。它是直接影響精密、超精密切削加工水平、精密測量水平及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平的關(guān)鍵環(huán)節(jié),它的各項技術(shù)指標(biāo)是各國技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。隨著科...
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