本項(xiàng)目結(jié)合半導(dǎo)體平板顯示、IC及光伏等生產(chǎn)廠商對該領(lǐng)域核心設(shè)備中核心單元國產(chǎn)化替代的迫切需求，選擇符合使用技術(shù)要求的國產(chǎn)材料，不再擔(dān)心國外材料供貨不及時(shí)或是規(guī)格型號不全，通過自主研發(fā)及與客戶合作開發(fā)的模式，掌握了半導(dǎo)體平板顯示及IC制造核心設(shè)備核心單元的關(guān)鍵技術(shù)，技術(shù)水平達(dá)到或超過了國外同類產(chǎn)品的技術(shù)水平，對國內(nèi)TFT及IC生產(chǎn)設(shè)備的制造水平以及TFT顯示器件的工藝技術(shù)水平起到了巨大的推動(dòng)作用。同時(shí)，國產(chǎn)替代產(chǎn)品的成本優(yōu)勢和本地化快捷服務(wù)優(yōu)勢，對降低IC、TFT-LCD、OLED顯示器件的生產(chǎn)成本起到了促進(jìn)作用。打破了國外產(chǎn)品對于國內(nèi)市場的壟斷，有效推動(dòng)我國半導(dǎo)體液晶產(chǎn)業(yè)的健康快速發(fā)展。
該項(xiàng)目的主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)為：1、根據(jù)半導(dǎo)體器件鍍膜設(shè)備的需求，選出符合要求的國產(chǎn)材料，開發(fā)了物理氣相沉積設(shè)備關(guān)鍵部件，實(shí)現(xiàn)了部分材料及部件國產(chǎn)化替代。2、研制出了一種直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)靶材陰極真空驅(qū)動(dòng)單元，與國外同類產(chǎn)品相比，具有密封特性好，免維護(hù)壽命長的特點(diǎn)。3、對物理氣相沉積（PVD）鍍膜設(shè)備非鍍膜區(qū)域金屬防著板單元進(jìn)行了表面改造，配套開發(fā)了蒸鍍設(shè)備防附著單元，降低了維護(hù)成本。
該項(xiàng)目研發(fā)了一系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的零部件，其中直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)靶材陰極真空驅(qū)動(dòng)單元達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先水平。
本項(xiàng)目已授權(quán)1項(xiàng)發(fā)明專利、66項(xiàng)實(shí)用新型、12項(xiàng)軟件著作權(quán)、1項(xiàng)外觀專利；已受理4項(xiàng)發(fā)明、26項(xiàng)實(shí)用新型，據(jù)此開發(fā)了面向直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)靶材陰極真空驅(qū)動(dòng)單元、面向物理氣相沉積(PVD)鍍膜設(shè)備非鍍膜區(qū)域金屬防著板單元、面向鍍膜設(shè)備的大尺寸超薄玻璃基材承載裝置單元、面向蒸鍍設(shè)備防附著單元(evaporation & enclosure)、面向真空鍍膜設(shè)備真空門閥裝置（Lock Valve），上機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定、可靠性高，成功應(yīng)用于京東方科技集團(tuán)、TCL華星光電、中國電子集團(tuán)、惠科股份、信利光學(xué)、柔宇科技、維信諾等，產(chǎn)品經(jīng)過在客戶端運(yùn)行，性能和國外原廠一樣甚至更高、安全穩(wěn)定，保障了各廠商生產(chǎn)線安全穩(wěn)定運(yùn)行，得到了用戶的一致好評。
本項(xiàng)目在實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體核心裝備國產(chǎn)化過程中，意義重大，經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益顯著，應(yīng)用前景廣闊。
1.周磊 2.鄭磊 3.周婷婷 4.張航 5.孫楠楠 6.段琳琳 7.竇沛靜 8.丁媛 9.劉濤 10.魏新杰
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評價(jià)單位： |
中國民營科技促進(jìn)會(huì) |
報(bào)告編號： |
中促會(huì)評字 [2021] 第037號 |
評價(jià)日期： |
2021-06-26 |
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組織單位： |
中國民營科技促進(jìn)會(huì)科技成果轉(zhuǎn)化辦公室 |
項(xiàng)目負(fù)責(zé)： |
張洪偉 |
成果管理： |
13641060945 |
一、提供的資料齊全，符合評價(jià)要求。
二、該項(xiàng)目主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)：
1.根據(jù)半導(dǎo)體器件鍍膜設(shè)備的需求，選出符合要求的國產(chǎn)材料，開發(fā)了物理氣相沉積設(shè)備關(guān)鍵部件，實(shí)現(xiàn)了部分材料及部件國產(chǎn)化替代。
2.研制出了一種直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)靶材陰極真空驅(qū)動(dòng)單元，與國外同類產(chǎn)品相比，具有密封特性好，免維護(hù)壽命長的特點(diǎn)。
3.對物理氣相沉積(PVD)鍍膜設(shè)備非鍍膜區(qū)域金屬防著板單元進(jìn)行了表面改造，配套開發(fā)了蒸鍍設(shè)備防附著單元，降低了維護(hù)成本。
三、該技術(shù)相關(guān)產(chǎn)品通過第三方檢測機(jī)構(gòu)檢測，符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
四、相關(guān)產(chǎn)品經(jīng)京東方科技集團(tuán)、TCL華星光電等多家用戶使用，產(chǎn)品評價(jià)良好。
五、該項(xiàng)目研發(fā)了一系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的零部件，其中直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)靶材陰極真空驅(qū)動(dòng)單元達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先水平。
本項(xiàng)目在實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體核心裝備國產(chǎn)化過程中，意義重大，經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益顯著，應(yīng)用前景廣闊。
| 姓名 |
工作單位 |
職稱 |
從事專業(yè) |
| 裴為華 |
中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
正高 | 微光電子 |
| 劉濟(jì)東 |
中電科電子裝備集團(tuán)有限公司 |
正高 | 電子專用設(shè)備 |
| 李牧原 |
中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì) |
正高 | 半導(dǎo)體 |
| 秦 健 |
海軍研究院 |
正高 | 兵器科學(xué)與技術(shù) |
| 劉四平 |
中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì) |
正高 | 半導(dǎo)體咨詢 |
| 周 迎 |
中國民營科技促進(jìn)會(huì) |
正高 | 科技管理 |
| 王建平 |
普華基礎(chǔ)軟件股份公司 |
正高 | 管理 |
| 戴小林 |
有研科技集團(tuán) |
正高 | 硅晶體生產(chǎn) |
| 童有好 |
工信部中小企業(yè)促進(jìn)中心 |
正高 | 中小企業(yè) |
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