2015年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 干泵屬于量大面廣的高端無(wú)油真空獲得設(shè)備，是潔凈真空獲得、維持與控制的必要手段，同時(shí)也是半導(dǎo)體整機(jī)設(shè)備的核心子系統(tǒng)。JGH-1000型羅茨干式真空泵主要應(yīng)用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）、高溫化學(xué)氣相沉積（HCVD）和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）等高度腐蝕工藝環(huán)境，也可向下兼容刻蝕（ETCH）、離子注入（INO）、LOADLOCK腔等中度和標(biāo)準(zhǔn)工藝環(huán)境。經(jīng)北京北方微電子基地設(shè)備...
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