瞬態(tài)電壓抑制二極管（Transient Voltage SuppressorDiode，TVS），是目前國際上普遍使用的一種二極管形式的高效瞬態(tài)電壓保護(hù)器件。當(dāng)TVS 的兩端受到反向瞬態(tài)高電壓沖擊時， 它能以10~12 s 量級的時間將其兩端的高阻抗變?yōu)榈妥杩?，吸收高達(dá)數(shù)kW 的浪涌功率，使兩極間的電壓鉗位于一個預(yù)定值，有效地保護(hù)電子線路中的精密元器件免受各種浪涌脈沖和靜電的損壞。
傳統(tǒng)TVS二極管有單級和雙極兩種，均已被大量生產(chǎn)和廣泛使用。其最大峰值功率有200W，400W 直到15kW，30kW等很多種。目前，研究熱點(diǎn)主要集中在通過不斷改善傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)和工藝技術(shù)來提高TVS器件的整體性能；通過采用SiC 等新材料來突破Si 材料在高溫等應(yīng)用領(lǐng)域的的極限；由分立的離片式TVS 器件（off-chip TVS）到集成TVS器件（on-chip TVS）等方面，但至15kW和30kW以后，就鮮有文獻(xiàn)報(bào)道功率更高的TVS器件。
針對上述問題，項(xiàng)目創(chuàng)新研發(fā)了擴(kuò)散濃度和深度控制技術(shù)。在滿足電流耐量情況下，通過擴(kuò)散濃度和深度控制，實(shí)現(xiàn)了瞬態(tài)電壓抑制；設(shè)計(jì)了多層保護(hù)復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片。利用CVD設(shè)備沉積sipos膜、PG鈍化和LTO膜對芯片PN結(jié)進(jìn)行三重保護(hù)，保證了芯片的可靠性；開發(fā)了20kA-TVS芯片制造工藝，配套研制了一種芯片測試探針臺防打火裝置等生產(chǎn)設(shè)備。利用碳化硅材料的電子飽和漂移速率高的特性，獲得了高速響應(yīng)特性。
項(xiàng)目具有自主知識產(chǎn)權(quán)，已獲國家授權(quán)發(fā)明專利。項(xiàng)目小批量產(chǎn)品已被天寶國際興業(yè)有限公司、鄭州易昕電子科技有限公司等單位采用，反映良好。
項(xiàng)目咨詢：王艷欣13371759156
1.耿開遠(yuǎn) 2.趙福建 3.徐明星
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評價(jià)單位： |
中國民營科技促進(jìn)會 |
報(bào)告編號： |
202201003028 |
評價(jià)日期： |
2022-07-13 |
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組織單位： |
中國民營科技促進(jìn)會科技成果轉(zhuǎn)化辦公室 |
項(xiàng)目負(fù)責(zé)： |
雷智旺、王艷欣 |
成果管理： |
13681439210 |
1.提供的資料齊全，符合評價(jià)要求。
2.項(xiàng)目主要創(chuàng)新點(diǎn)及特點(diǎn)如下：
（1）研發(fā)了擴(kuò)散濃度和深度控制技術(shù)。在滿足電流耐量情況下，通過擴(kuò)散濃度和深度控制，實(shí)現(xiàn)了瞬態(tài)電壓抑制。
（2）設(shè)計(jì)了多層保護(hù)復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片。利用CVD設(shè)備沉積sipos膜、PG鈍化和LTO膜對芯片PN結(jié)進(jìn)行三重保護(hù)，保證了芯片的可靠性。
（3）開發(fā)了20kA-TVS芯片制造工藝，配套研制了一種芯片測試探針臺防打火裝置等生產(chǎn)設(shè)備。利用碳化硅材料的電子飽和漂移速率高的特性，獲得了高速響應(yīng)特性。
3.項(xiàng)目小批量產(chǎn)品已被天寶國際興業(yè)有限公司、鄭州易昕電子科技有限公司等單位采用，反映良好。
4.項(xiàng)目具有自主知識產(chǎn)權(quán)，已獲國家授權(quán)發(fā)明專利。
評價(jià)委員會認(rèn)為：該項(xiàng)目20kA-TVS芯片在多層保護(hù)復(fù)合結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及制造工藝方面達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平，同意通過科技成果評價(jià)。
| 姓名 |
工作單位 |
職稱 |
從事專業(yè) |
| 丁天懷 |
清華大學(xué) |
正高 | 精密儀器 |
| 孫家躍 |
中國儀器儀表學(xué)會 |
正高 | 功能材料 |
| 繆 謙 |
國家電網(wǎng) |
正高 | 電力 |
| 古宏偉 |
中國科學(xué)院電工研究所 |
正高 | 能源材料 |
| 彭應(yīng)登 |
中華環(huán)保聯(lián)合會專家委員會 |
正高 | 環(huán)境工程 |
| 聶軍剛 |
機(jī)械科學(xué)研究總院 |
正高 | 重大裝備 |
| 周 迎 |
科技部火炬中心 |
正高 | 科技管理 |
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