在人造金剛石、集成電路清洗、刻蝕等微波等離子體應用領域，需要穩(wěn)定度較高的微波生器，以產生穩(wěn)定的微波信號，滿足各領域應用需求。微波生器加熱機理是基于微波與被加熱物質分子之間的相互作用，并被吸收轉換成熱量。與紅外加熱、電爐加熱、高頻加熱等加熱方式相比，微波加熱可以深入被加熱物質內部，加熱時熱量直接來源于微波。
目前，由于微波等離子體化學氣相沉積制備人造金剛石等領域微波發(fā)生器技術要求高，需求量大，國產化比例低，導致高度依賴進口，關鍵設備受制于人。而國外產品在價格高、交付周期長的同時，普遍采用風冷與水冷結合方式，單臺設備需向工作環(huán)境排放大量熱量，直接影響了生產裝備布置，增加了降溫成本，亟待解決。
針對上述問題，項目開展了水冷高穩(wěn)定度微波發(fā)生器研制。項目創(chuàng)新研發(fā)了高質量直流燈絲電源及壓頻轉換技術，改善了頻譜質量，降低了頻譜寬度。通過高頻變壓器隔離陽極高壓，以及電壓與頻率信號轉換，提高了燈絲電源電流的輸出穩(wěn)定性；開發(fā)了微波發(fā)生器控制技術，優(yōu)化了磁控管最佳工作曲線及兼容適配系統(tǒng)，保證了微波發(fā)生器輸出功率和系統(tǒng)運行穩(wěn)定性，提高了磁控管使用壽命和電源適配性；設計了水冷微波發(fā)生器熱交換結構。采用油箱將變壓器與高壓整流部分封閉，油箱內部安裝水冷換熱器的結構設計，明顯降低了工作環(huán)境熱量排放。
項目技術具有自主知識產權，已獲國家授權發(fā)明專利及軟件著作權。項目產品已通過安徽省電子產品監(jiān)督檢驗所檢測，并被寧波晶鉆科技股份有限公司、成都穩(wěn)正科技有限公司、四川大學電子信息學院等單位采用，實現(xiàn)了微波等離子體化學氣相沉積制備人造金剛石等領域微波發(fā)生器的國產化替代，應用前景廣闊。
項目咨詢：王艷欣13371759156
1.安徽明辨電子科技有限公司
1.劉 凱 2.鄧永峰 3.張 辰 4.印長豹 5.曾 亮 6.謝振磊 7.唐 鵬 8.王帥帥 9.何 柱 10.芮 慶 11.劉 英 12.楊玉連 13.戴義亮 14.劉子歡 15.張秋爽
| |
評價單位： |
中國民營科技促進會 |
報告編號： |
202301003041 |
評價日期： |
2023-05-20 |
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組織單位： |
中國民營科技促進會科技成果轉化辦公室 |
項目負責： |
雷智旺、王艷欣 |
成果管理： |
13681439210 |
1.提供的資料齊全，符合評價要求。
2.項目主要創(chuàng)新點如下：
（1）研發(fā)了高質量直流燈絲電源及壓頻轉換技術，改善了頻譜質量，降低了頻譜寬度。通過高頻變壓器隔離陽極高壓，以及電壓與頻率信號轉換，提高了燈絲電源電流的輸出穩(wěn)定性。
（2）開發(fā)了微波發(fā)生器控制技術，優(yōu)化了磁控管最佳工作曲線及兼容適配系統(tǒng)，保證了微波發(fā)生器輸出功率和系統(tǒng)運行穩(wěn)定性，提高了磁控管使用壽命和電源適配性。
（3）設計了水冷微波發(fā)生器熱交換結構。采用油箱將變壓器與高壓整流部分封閉，油箱內部安裝水冷換熱器的結構設計，明顯降低了工作環(huán)境熱量排放。
3.項目產品已被寧波晶鉆科技股份有限公司、成都穩(wěn)正科技有限公司、四川大學電子信息學院等單位采用，實現(xiàn)了微波等離子體化學氣相沉積制備人造金剛石等領域微波發(fā)生器的國產化替代。
4.項目產品已通過安徽省電子產品監(jiān)督檢驗所檢測。
5.項目技術具有自主知識產權，已獲國家授權發(fā)明專利及軟件著作權。
評價委員會認為：項目在水冷微波發(fā)生器結構及直流燈絲電源設計方面達到國際先進水平，同意通過科技成果評價。
| 姓名 |
工作單位 |
職稱 |
從事專業(yè) |
| 丁天懷 |
清華大學 |
正高 | 測控 |
| 蔡青有 |
中國電力科學研究院 |
正高 | 電力產品檢測 |
| 古宏偉 |
中國科學院電工研究所 |
正高 | 電工材料 |
| 繆 謙 |
國家電網 |
正高 | 電力節(jié)能 |
| 孫家躍 |
中國儀器儀表學會 |
正高 | 自動控制 |
| 聶軍剛 |
機械科學研究總院 |
正高 | 重大裝備 |
| 周 迎 |
科技部火炬中心 |
正高 | 科技管理 |
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