| 電子級多晶硅綠色智能制造技術(shù)開發(fā)及應(yīng)用 | |
| 完成人: | 王體虎;宗冰;肖建忠;尹東林;鄭連基;冉勝國;王剛;王喆;丁小海;鮑守珍;吉紅平;楊明財(cái);郝曉瓊;郭光偉;蔡延國;蒲澤軍;甘易武;張孝山;汪成洋;李延明;蔡向忠;陳聰;劉軍;劉廷澤;王振榮; |
| 第一完成單位: | 亞洲硅業(yè)(青海)股份有限公司 |
| 關(guān)鍵詞: | 制造技術(shù);電子級;多晶硅; |
| 研究起止時(shí)間: | 2017.01 至2019.12 |
| 課題來源: | 部門計(jì)劃 |
| 合作形式: | 與院校合作 |
| 所處階段: | 成熟應(yīng)用階段 |
| 成果水平: | 國際先進(jìn) |
| 成果屬性: | 原始性創(chuàng)新 |
| 成果體現(xiàn)形式: | 新技術(shù) |
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