2023年9月6日“可用于生產高純度多晶硅的高絕緣氮化硅材料關鍵技術及應用”經專家組評估評審，項目整體技術達到國際領先水平。

會議邀請了來自中國科學院、中國科學院過程工程所、中華人民共和國工業(yè)和信息化部政策法規(guī)司、北京有色金屬研究總院超導中心、中國環(huán)境監(jiān)測總站、工信部中小企業(yè)協會新技術產業(yè)投資委員會 、中國化工集團等專家領導組成評審委員會。經過項目匯報與質詢，專家組認為項目針對多晶硅生產用氧化鋁絕緣件存在的力學性能低、抗熱震性能較差、高溫還原性氣氛下絕緣強度不夠、使用壽命短等不足，嚴重影響多晶硅生產效率和產品的品質，開發(fā)出可替代氧化鋁材料的新型氮化硅特種材料制備技術及絕緣件制品，并獲得推廣應用。【高科新創(chuàng)新聞中心宣】