為響應(yīng)國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控戰(zhàn)略部署，破解高端TMAH長期依賴進(jìn)口的產(chǎn)業(yè)困局，信聯(lián)電子材料科技股份有限公司研發(fā)的“集成電路用四甲基氫氧化銨（TMAH）制備技術(shù)”取得重大突破，為我國14nm及以下先進(jìn)制程提供關(guān)鍵材料支撐。
本成果以離子膜電解法為核心技術(shù)路線，構(gòu)建了“電極優(yōu)化-膜系統(tǒng)匹配-多級純化”一體化技術(shù)體系。一方面開發(fā)表面電化學(xué)改性的合金涂層電極，有效解決傳統(tǒng)石墨電極腐蝕問題，提升電流效率與使用壽命；另一方面創(chuàng)新采用四室三膜電解槽結(jié)構(gòu)，結(jié)合全氟磺酸-羧酸復(fù)合陽離子交換膜，實現(xiàn)(CH₃)₄N⁺的高效選擇性遷移，顯著抑制Na⁺、K⁺等雜質(zhì)離子遷移。配套特種離子交換樹脂吸附與納濾-超濾集成純化工藝，形成多維度雜質(zhì)控制能力。
成果性能指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平：產(chǎn)品金屬離子總量≤0.1ppb，符合SEMIG4標(biāo)準(zhǔn)；濃度可調(diào)范圍2.38%-25%，偏差≤±0.003%；電流效率達(dá)70%-80%，優(yōu)于國內(nèi)平均水平，且常溫儲存6個月無結(jié)晶分層，80℃加速老化無分解。
目前技術(shù)成熟度達(dá)Level 8，已實現(xiàn)批量供貨。產(chǎn)品通過京東方、華星光電等面板企業(yè)驗證，且在長鑫、長存等半導(dǎo)體廠商完成導(dǎo)入，武漢新芯、天津中芯國際等多家企業(yè)正推進(jìn)驗證。相較于國外技術(shù)，本成果依托國內(nèi)原料產(chǎn)能優(yōu)勢降低成本，聚焦電極改性、膜分離集成等關(guān)鍵環(huán)節(jié)構(gòu)建自主專利布局，已在國內(nèi)中高端市場實現(xiàn)突破，有力推動了我國濕電子化學(xué)品的國產(chǎn)化替代進(jìn)程，為保障國家信息基礎(chǔ)設(shè)施安全提供了重要支撐。
1.孫煒 2.馮亞楠 3.賈成林 4.孔星 5.張雪冰 6.尹豐豐 7.劉穎娟 8.于文達(dá) 9.許光 10.趙鵬
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評價單位： |
中國電子節(jié)能技術(shù)協(xié)會 |
報告編號： |
中電節(jié)評字[2025]第CG029號 |
評價日期： |
2025-09-28 |
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組織單位： |
中國電子節(jié)能技術(shù)協(xié)會 |
項目負(fù)責(zé)： |
馮亞楠 |
成果管理： |
13383069500 |
1. 提供的資料基本齊全，符合評價要求。
2. 該項目的關(guān)鍵技術(shù)及主要創(chuàng)新點：
（1）首創(chuàng)采用合金涂層技術(shù)，在鈦基體形成致密保護(hù)層，達(dá)到解決石墨電極腐蝕問題、延長電極壽命至 18 個月、電流效率提升至 70%-80% 的效果。
（2）采用全氟磺酸型陽離子交換膜作為基礎(chǔ)膜材，并輔以羧酸膜層構(gòu)成復(fù)合結(jié)構(gòu)，既保障了 (CH₃)₄N⁺離子的高效遷移性能，又提升了離子透過選擇性，同時具備良好的耐強堿性能。
（3）采用納濾濃縮、超濾除微粒、樹脂吸附聯(lián)用的三級除雜體系純化技術(shù)，達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定的效果。
（4）使用四室三膜電解槽構(gòu)建梯度電場技術(shù)，達(dá)到將 Na⁺等雜質(zhì)降至 0.1ppb 以下（G4 級）、適配 28nm 先進(jìn)制程及以下制程的場景應(yīng)用。
（5）采用精準(zhǔn)調(diào)控技術(shù)，對溫度、電流密度等參數(shù)進(jìn)行調(diào)控，達(dá)到濃度偏差≤±0.003% 的效果。
3. 該項目技術(shù)已獲得國家發(fā)明專利，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，已具備良好產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用基礎(chǔ)。
4.評價委員會認(rèn)為該項目技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平，一致同意通過科技成果評價。
| 姓名 |
工作單位 |
職稱 |
從事專業(yè) |
| 黃利斌 |
工業(yè)和信息化部節(jié)能與綜合利用司 |
正高 | |
| 張序國 |
科技部火炬中心 |
正高 | |
| 任偉 |
工業(yè)和信息化部安全生產(chǎn)司 |
正高 | |
| 李建武 |
北京理工大學(xué) |
正高 | |
| 何祚云 |
中國石化長城能源化工有限公司 |
正高 | |
| 屈耀明 |
中石化石油工程建設(shè)公司 |
正高 | |
| 劉源超 |
中國電子工業(yè)科學(xué)技術(shù)交流中心有限公司 |
副高 | |
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