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“基于集成電路用四甲基氫氧化銨(TMAH)制備技術”通過科技成果鑒定

信息來源:中國電子節(jié)能技術協(xié)會      發(fā)布時間:2025-10-11

  2025年月928日,中國電子節(jié)能技術協(xié)會聯(lián)合工業(yè)和信息化部國際經(jīng)濟技術合作中心在工信部萬壽路機關組織召開了由信聯(lián)電子材料科技股份有限公司研發(fā)的“基于集成電路用四甲基氫氧化銨(TMAH)制備技術”科技成果評價會。評價專家委員會由工業(yè)和信息化部節(jié)能與綜合利用司原司長黃利斌、科技部火炬中心原黨委書記張序國、工業(yè)和信息化部安全生產(chǎn)司原二級巡視員任偉、北京理工大學正高級工程師李建武、中國石化長城能源化工有限公司原副總經(jīng)理何祚云、中石化石油工程建設公司審計處處長屈耀明、中國電子工業(yè)科學技術交流中心有限公司總經(jīng)理劉源超組成。評價委員會聽取了項目完成單位的技術總結報告,審查了相關資料,經(jīng)質詢和討論形成意見如下:

1. 提供的資料基本齊全,符合評價要求。

2. 該項目的關鍵技術及主要創(chuàng)新點:

1)首創(chuàng)采用合金涂層技術,在鈦基體形成致密保護層,達到解決石墨電極腐蝕問題、延長電極壽命至 18 個月、電流效率提升至 70%-80% 的效果。

2)采用全氟磺酸型陽離子交換膜作為基礎膜材,并輔以羧酸膜層構成復合結構,既保障了 (CH?)?N?離子的高效遷移性能,又提升了離子透過選擇性,同時具備良好的耐強堿性能。

3)采用納濾濃縮、超濾除微粒、樹脂吸附聯(lián)用的三級除雜體系純化技術,達到產(chǎn)品質量穩(wěn)定的效果。

4)使用四室三膜電解槽構建梯度電場技術,達到將 Na?等雜質降至 0.1ppb 以下(G4 級)、適配 28nm 先進制程及以下制程的場景應用。

5)采用精準調控技術,對溫度、電流密度等參數(shù)進行調控,達到濃度偏差≤±0.003% 的效果。

3. 該項目技術已獲得國家發(fā)明專利,具有自主知識產(chǎn)權,已具備良好產(chǎn)業(yè)化應用基礎。

4.評價委員會認為該項目技術達到國際先進水平,一致同意通過科技成果評價。

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